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蘇州昆山潔凈室裝修工程-光學(xué)微電子車間

作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發(fā)布時(shí)間:2023-04-10 16:08:17 點(diǎn)擊:1

  本次設(shè)計(jì)設(shè)計(jì)為蘇州昆山微電子有限公司二層潔凈廠房的凈化空調(diào)工程設(shè)計(jì),按照業(yè)主的要求設(shè)計(jì)為百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)潔凈室。具體潔凈度及溫濕度要求詳見平面圖。施工范圍包括潔凈廠房結(jié)構(gòu)裝修、潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)冷凍站、相關(guān)照明空調(diào)插座配電、工藝管道(空壓、真空、純水、冷卻水)等。同時(shí)根據(jù)凈化車間設(shè)備要求在局部設(shè)機(jī)械排風(fēng)系統(tǒng)。

微電子車間平面圖

  1.總面積1680平方米,建筑高度為4.6m,大梁高度3.7m,凈化車間吊頂高度為2.6m;

  2.無塵房標(biāo)準(zhǔn)按靜態(tài)驗(yàn)收,溫度、相對(duì)濕度參數(shù)詳細(xì)見下表;

房間名稱

潔凈度級(jí)別

溫度(°c

濕度(%

面積(

送風(fēng)量(m3/h)

熱壓房

萬級(jí)

23±3

55±10

678.4

50000

中清洗房

萬級(jí)

洗網(wǎng)房

萬級(jí)

顯影 脫膜

萬級(jí)

曝光房

百級(jí)

62

68000

貼合間

百級(jí)

38

45000

PI印刷房

百級(jí)

25

30000

PI預(yù)烘房

千級(jí)

47

7000

絲印房

千級(jí)

71.6

12000

定向間

千級(jí)

45

6800

固化房

千級(jí)

36

5500

更衣室

十萬級(jí)

57

2500

投料房

十萬級(jí)

29

1500

  3.玻璃窗距離地面1.1m,空調(diào)車間觀察窗采用5mm白色玻璃;

蘇州昆山潔凈室裝修工程圖片

  4.單人雙吹風(fēng)淋室,外尺寸1000*1590*2050.雙人雙吹風(fēng)淋室,外尺寸2000*1590*2050.

  6.更衣室衣柜采用不銹鋼支架FFU吹淋衣柜(參考參觀樣式)。

  7.潔凈車間金屬壁板墻:50厚金屬壁板(板厚0.426聚苯乙烯夾芯),用于潔凈室內(nèi)隔墻。

  8.潔凈室吊頂:

  千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)及準(zhǔn)潔凈區(qū)一次彩鋼板天花吊頂,吊頂高度2.6m;吊頂潔凈板材采用50厚金屬壁板(板厚0.426,手工玻鎂板)。

  百級(jí)潔凈區(qū):T-GRID龍骨吊頂,吊頂高度2.6m。

  二次彩鋼板吊頂(技術(shù)夾層)高度4.2,裸露梁體做環(huán)氧漆處理。

  輔助用房吊頂采用烤漆龍骨+硅酸鈣板吊頂,吊頂高度3.2米。

  9. 地面:

  潔凈室頂面采用自流平環(huán)氧樹脂地面,厚2mm;定向間采用防靜電環(huán)氧地坪,局部車間采用防腐蝕環(huán)氧樹脂地面,百級(jí)潔凈車間內(nèi)采用鑄鋁高架地板,架空高度300mm,尺寸為600*600*40。

萬級(jí)潔凈區(qū)圖片


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